会议论文《基于LED光源的DMD-SLM超微缩直写技术研究》介绍了利用LED光源实现DMD-SLM（数字微镜器件空间光调制器）的超微缩直写技术。该研究旨在提高直写精度和效率，拓展其在微电子、光刻等领域的应用。通过优化光源配置和系统设计，论文提出了有效的技术方案，为后续相关研究提供了理论支持和实践参考。
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