会议论文《JT-1400磁控溅射镀膜机控制系统设计》介绍了针对磁控溅射镀膜设备的控制系统设计。该系统采用先进的控制策略，提高了镀膜过程的稳定性和精度。论文详细阐述了硬件架构与软件功能，为提升薄膜制备质量提供了有效解决方案。
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