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Er2O3_Si薄膜界面层研究 - 2010年全国电子显微学会议暨第八届海峡两岸电子显微学研讨会.pdf

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2026-1-10 21:31 | 查看全部阅读模式

会议论文《Er2O3_Si薄膜界面层研究》介绍了在2010年全国电子显微学会议暨第八届海峡两岸电子显微学研讨会中，对Er2O3/Si薄膜界面结构的深入分析。研究采用电子显微镜技术，探讨了界面层的形貌与成分分布，为提高薄膜器件性能提供了理论依据。

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