阴极荧光(CL)和电子束诱导感生电流(EBIC)在材料和半导体器件研究中的应用 - 2010年全国电子显微学会议暨第八届海峡两岸电子显微学研讨会.pdf

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2026-1-10 23:55 | 查看全部阅读模式

该会议论文介绍了阴极荧光(CL)和电子束诱导感生电流(EBIC)在材料和半导体器件研究中的应用。通过CL技术可以获取材料的光学性质和缺陷信息，而EBIC则能揭示半导体中载流子的分布与迁移行为。文章结合实例，展示了这两种技术在微结构分析和器件性能评估中的重要价值，为相关领域的研究提供了有力工具。

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