会议论文《ALD氧化铝单层膜1064nm激光损伤特性研究》针对原子层沉积（ALD）制备的氧化铝单层膜在1064nm激光下的损伤特性进行了系统研究。通过实验分析了薄膜的激光损伤阈值及损伤机制，为高功率激光器件中抗激光损伤涂层的设计与优化提供了理论依据和技术支持。
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