会议论文《溅射温度对TaN薄膜应变敏感性能的影响》探讨了不同溅射温度下制备的TaN薄膜的应变敏感性能。研究结果表明，溅射温度显著影响薄膜的微观结构和电学特性，进而改变其应变灵敏度。该研究为优化TaN薄膜在传感器领域的应用提供了理论依据和技术支持。
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