会议论文《氧氩体积百分比对ITO薄膜性能的影响》发表于第八届中国功能材料及其应用学术会议。该文研究了在制备ITO薄膜过程中，氧氩混合气体比例对薄膜性能的影响。通过实验分析发现，适当调整氧氩体积比可优化薄膜的电阻率、透光率及表面形貌，为ITO薄膜的制备工艺提供了重要参考。
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