大直径石墨热场单晶生长工艺的研究 - 第三届全国地方机械工程学会学术年会暨海峡两岸机械科技论坛.pdf

8 0
2026-1-10 16:43 | 查看全部 阅读模式

会议论文《大直径石墨热场单晶生长工艺的研究》发表于第三届全国地方机械工程学会学术年会暨海峡两岸机械科技论坛。该文探讨了大直径石墨热场在单晶生长中的应用,分析了其工艺特点与技术难点,提出了优化方案以提高单晶质量与生产效率。研究对半导体材料制备具有重要意义,为相关领域的技术发展提供了理论支持与实践参考。

文档为pdf格式,1.11MB,总共4页。

大直径石墨热场单晶生长工艺的研究 - 第三届全国地方机械工程学会学术年会暨海峡两岸机械科技论坛
文件大小:
1.11 MB
高速下载
2026 资料下载 联系邮件:1991591830#qq.com 浙ICP备2024084428号-1