磁控溅射镀覆氮化钛工艺研究 - 第六届郑州国际超硬材料及制品研讨会暨庆祝中国人造金刚石诞生50周年大会.pdf

2 0

2026-1-10 15:06 | 查看全部阅读模式

会议论文《磁控溅射镀覆氮化钛工艺研究》发表于第六届郑州国际超硬材料及制品研讨会暨庆祝中国人造金刚石诞生50周年大会。该文探讨了采用磁控溅射技术在基材表面镀覆氮化钛薄膜的工艺参数与性能优化，分析了沉积速率、气体比例及基底温度对薄膜质量的影响，为提高涂层硬度和耐磨性提供了理论依据和技术支持。

文档为pdf格式，0.09MB，总共3页。