会议论文《无磨粒化学机械抛光的研究进展》在第十一届摩擦学大会上发表，探讨了无磨粒化学机械抛光技术的最新研究成果。文章分析了该技术在材料去除率、表面质量及环保方面的优势，总结了当前研究中的关键问题与发展方向，为后续相关研究提供了理论支持和实践参考。
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