会议论文《S波段SiC MESFET功率器件研制》介绍了基于碳化硅材料的S波段功率器件的研究与开发。该研究针对高频大功率应用,设计并制备了高性能MESFET器件,提升了器件的输出功率和效率。论文详细分析了器件结构、工艺流程及性能测试结果,为SiC器件在通信和雷达系统中的应用提供了理论支持和技术参考。
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