In-situ Monitoring of MOCVD of LEDs on Dry Etched Patterned Sapphire Substrates in a Close Coupled Showerhead Reactor - 第十届中国国际半导体照明论坛.pdf

会议论文《In-situ Monitoring of MOCVD of LEDs on Dry Etched Patterned Sapphire Substrates in a Close Coupled Showerhead Reactor》介绍了在密耦合喷淋头反应器中对干法刻蚀图案蓝宝石衬底上LED外延生长的原位监测技术。该研究通过实时监测手段优化了MOCVD工艺，提高了LED的性能和均匀性，为高效、高质量的LED制造提供了新思路。

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