会议论文《A New Generation of Flexible Power Supplies for Dual Magnetron Sputtering》介绍了针对双磁控溅射系统设计的新型灵活电源装置。该研究旨在提高薄膜沉积的效率与均匀性，通过优化电源控制策略，实现对不同材料的高效镀膜。文章提出了创新的电路设计和控制方法，为玻璃深加工领域提供了更可靠的技术支持，具有重要的应用价值。
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