MPCVD金刚石膜沉积技术及金刚石膜材料在微波电真空器件中的应用 - 全国电子陶瓷、陶瓷——金属封接第十四届会议暨真空电子与专用金属材料分会2014年年会.pdf

9 0

2026-1-10 09:49 | 查看全部阅读模式

会议论文《MPCVD金刚石膜沉积技术及金刚石膜材料在微波电真空器件中的应用》介绍了采用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）技术制备金刚石膜的方法，探讨了其在微波电真空器件中的潜在应用。文章分析了金刚石膜的物理特性及其在高频、高功率电子器件中的优势，为新型电子材料的发展提供了理论依据和技术支持。

文档为pdf格式，1.14MB，总共5页。