会议论文《高分辨率显示产品适用的Al刻蚀液特性研究》发表于2014中国平板显示学术会议,探讨了适用于高分辨率显示产品的铝(Al)刻蚀液性能。文章分析了不同刻蚀液配方对Al层的刻蚀速率、均匀性和表面形貌的影响,旨在优化刻蚀工艺,提高显示器件的精细度和良率,为平板显示技术的发展提供了理论支持与实践参考。
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