硅电容微差压传感器过载误差的设计 - 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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2026-1-10 07:46 | 查看全部 阅读模式

会议论文《硅电容微差压传感器过载误差的设计》探讨了硅电容微差压传感器在过载情况下的误差产生机制。文章分析了传感器结构、材料特性及外部应力对测量精度的影响,提出了优化设计方法以提高传感器的可靠性和稳定性。该研究对于提升传感器在复杂工况下的性能具有重要意义,为相关领域的应用提供了理论支持和技术参考。

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硅电容微差压传感器过载误差的设计 - 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
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