会议论文《差分电容硅微加速度计检测电路研究》探讨了基于差分电容结构的硅微加速度计检测电路的设计与实现。文章分析了差分电容传感器的工作原理,并提出了一种高效的检测电路方案,以提高测量精度和抗干扰能力。该研究对推动硅微加速度计在高精度传感领域的应用具有重要意义。
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