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TFT-LCD光刻工艺掩膜板耐Particle研究 - 2014中国平板显示学术会议.pdf

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2026-1-10 01:46 | 查看全部阅读模式

会议论文《TFT-LCD光刻工艺掩膜板耐Particle研究》探讨了在TFT-LCD制造过程中，掩膜板对微粒的耐受能力。研究针对光刻工艺中可能影响显示质量的微粒污染问题，分析了不同材料和结构对微粒附着的影响，提出了提高掩膜板洁净度和稳定性的方法。该成果为提升TFT-LCD产品的良率和可靠性提供了理论支持和技术参考。

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