免擦水的PVD环保碳氢清洗剂与工艺 - 2012年广东省真空学会学术年会.pdf

2012年广东省真空学会学术年会论文《免擦水的PVD环保碳氢清洗剂与工艺》介绍了新型环保清洗剂在物理气相沉积（PVD）中的应用。该研究旨在替代传统含氯溶剂，减少环境污染。论文提出了一种无需擦拭的清洗工艺，提高了清洗效率和产品良率，同时符合环保要求。该技术对推动绿色制造和可持续发展具有重要意义。

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