本文研究了通过反应磁控溅射法制备的CrAlN/AlON纳米多层涂层的微观结构与力学性能。实验结果表明,该涂层具有良好的致密性和界面清晰度。通过调整工艺参数,可优化涂层的硬度和耐磨性,为高性能涂层的应用提供了理论依据和技术支持。
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