论文《CaMnO3热电薄膜的制备及其性能表征》介绍了采用溶胶-凝胶法和磁控溅射技术制备CaMnO3热电薄膜的过程。研究通过XRD、SEM和热电性能测试等手段对薄膜的结构和性能进行了表征。结果表明，所制备的薄膜具有良好的晶体结构和较高的热电性能，为新型热电材料的应用提供了理论依据和技术支持。
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