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本文介绍了通过磁控溅射法制备纳米银膜的过程，分析了其微结构特征及光学常数。研究采用扫描电子显微镜和椭偏仪等手段对薄膜的表面形貌和光学性能进行了表征。结果表明，纳米银膜具有良好的导电性和光学透过性，其光学常数与沉积参数密切相关。该研究为纳米银膜在传感器和光电器件中的应用提供了理论依据和技术支持。 文档为pdf格式，0.63MB，总共3页。
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- 磁控溅射制备纳米银膜的微结构及光学常数研究 - 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf ...
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