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磁控溅射制备电阻应变传感器的SiO2绝缘膜 - 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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2025-12-14 19:36 | 查看全部阅读模式

论文《磁控溅射制备电阻应变传感器的SiO2绝缘膜》介绍了采用磁控溅射技术制备用于电阻应变传感器的SiO2绝缘膜。通过优化工艺参数，提高了薄膜的致密性和绝缘性能，增强了传感器的稳定性和灵敏度。研究为高性能应变传感器的开发提供了可靠的技术支持。

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磁控溅射制备电阻应变传感器的SiO2绝缘膜 - 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

2025-12-14 19:36 上传

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传感器, 磁控溅射, 学术会议, 应变, 电阻

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