硅微谐振式压力传感器测试方法研究 - 2012年全国压力计量测试技术交流年会.pdf

论文《硅微谐振式压力传感器测试方法研究》探讨了硅微谐振式压力传感器的测试方法，旨在提高其测量精度和可靠性。文章分析了传感器的工作原理及影响测试结果的因素，提出了有效的测试方案和优化措施。该研究对推动压力传感器技术的发展具有重要意义，为相关领域的应用提供了理论支持和技术参考。

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2025-12-14 19:32 上传 硅微谐振式压力传感器测试方法研究 - 2012年全国压力计量测试技术交流年会.pdf

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