论文《电注入高Q值氮化物谐振腔器件的研制》介绍了基于氮化物材料的高Q值谐振腔器件的研制过程。通过优化结构设计和电注入技术,实现了器件的高性能表现。该研究为高频电子器件的发展提供了新的思路,具有重要的理论和应用价值。
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