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论文《电子束蒸发制备性能渐变铝掺杂氧化锌薄膜》介绍了通过电子束蒸发技术制备铝掺杂氧化锌薄膜的方法。研究重点在于调控铝的掺杂浓度，实现薄膜性能的渐变分布。该方法有助于优化薄膜的电学和光学特性，适用于透明导电膜等应用领域。文章通过实验分析了不同掺杂比例对薄膜结构和性能的影响，为高性能氧化锌基材料的制备提供了参考。 文档为pdf格式，0.8MB，总共4页。
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- 电子束蒸发制备性能渐变铝掺杂氧化锌薄膜 - 第十三届全国固体薄膜学术会议.pdf ...
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