论文《氧化锆薄膜的制备与性能表征》发表于第十三届全国固体薄膜学术会议，主要研究了氧化锆薄膜的制备工艺及其性能表征。文章介绍了采用磁控溅射法等技术制备氧化锆薄膜，并通过XRD、SEM等手段对其结构和形貌进行分析。研究结果表明，所制备的氧化锆薄膜具有良好的热稳定性和机械性能，展现出在高温防护和光学涂层等领域的应用潜力。
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