本文研究了氧气流量对Mg1-xZnxO薄膜择优取向的影响。通过调节氧气流量，发现薄膜的晶体结构和取向发生显著变化。实验结果表明，适当增加氧气流量有助于改善薄膜的结晶质量，促进(002)晶面的优先生长。该研究为优化MgZnO薄膜的制备工艺提供了理论依据。
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