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论文《氟化镱掺杂的氧化铟透明导电薄膜》介绍了通过掺杂氟化镱（YbF3）改善氧化铟（In2O3）薄膜的光电性能。研究采用磁控溅射法制备薄膜，并分析其结构、光学和电学特性。结果表明，适量YbF3掺杂可有效提高薄膜的导电性，同时保持良好的透明性，为新型透明导电材料的应用提供了理论依据和技术支持。 文档为pdf格式，0.11MB，总共2页。
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- 氟化镱掺杂的氧化铟透明导电薄膜 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议.pdf ...
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