氟基等离子处理改善AlGaN肖特基接触反向漏电 - 第十三届全国固体薄膜学术会议.pdf

论文《氟基等离子处理改善AlGaN肖特基接触反向漏电》探讨了通过氟基等离子体处理技术优化AlGaN肖特基二极管的反向漏电流性能。研究显示，该处理方法能有效减少界面缺陷，提高器件的电学性能和稳定性，对提升宽禁带半导体器件的可靠性具有重要意义。

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2025-12-14 18:23 上传 氟基等离子处理改善AlGaN肖特基接触反向漏电 - 第十三届全国固体薄膜学术会议.pdf

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