论文《氧分压对磁控溅射氧化钼薄膜结构成分与光学性能的影响》探讨了不同氧分压条件下制备的氧化钼薄膜的结构和光学特性。研究结果表明，氧分压显著影响薄膜的结晶质量、元素组成及光学带隙。适当调整氧分压可优化薄膜性能，为光电子器件的应用提供理论依据。
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