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晶界(Grain Boundary)对N极性InN薄膜输运性质的影响 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2025-12-14 18:04 | 查看全部阅读模式

本文研究了晶界对N极性InN薄膜输运性质的影响。通过实验分析发现，晶界显著影响载流子迁移率和电阻率。晶界作为散射中心，会降低载流子的迁移能力，从而改变薄膜的电学性能。研究结果为优化InN薄膜质量提供了理论依据。

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晶界(Grain Boundary)对N极性InN薄膜输运性质的影响 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议

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器件, 极性, 学术会议, 化合物, 薄膜

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