快速退火法制备β-FeSi2薄膜的研究 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议.pdf

论文《快速退火法制备β-FeSi2薄膜的研究》介绍了通过快速退火技术制备β-FeSi2薄膜的方法。研究探讨了不同退火条件对薄膜结构和性能的影响，旨在提高薄膜质量与光电特性。该工作为β-FeSi2在光电子器件中的应用提供了理论依据和技术支持。

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2025-12-14 17:43 上传 快速退火法制备β-FeSi2薄膜的研究 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议.pdf

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