论文《微米级线宽双台面套准精度的研究》探讨了在微米级线宽加工中，双台面结构的套准精度问题。该研究针对化合物半导体器件制造中的关键工艺，分析了影响套准精度的因素，并提出了改进方法。通过实验验证，提升了器件的加工精度和性能稳定性，对提高微波器件和光电器件的质量具有重要意义。
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