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论文《常压下N2_Ar容性耦合等离子体离子能量分布函数的模拟研究》探讨了在常压条件下，N2-Ar混合气体中容性耦合等离子体的离子能量分布特性。通过数值模拟方法，分析了不同气体比例对离子能量分布函数的影响，为等离子体应用提供了理论依据。该研究对于优化等离子体设备设计和提高处理效率具有重要意义。 文档为pdf格式，0.6MB，总共10页。
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- 常压下N2_Ar容性耦合等离子体离子能量分布函数的模拟研究 - 江苏省工程热物理学会第六届学术会议.pdf ...
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