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本文发表于第十二届全国敏感元件与传感器学术会议，研究了光刻误差对石英音叉陀螺正交误差的影响。通过建立数学模型，分析不同光刻误差参数对陀螺性能的影响规律，提出了优化设计方法。研究结果有助于提高石英音叉陀螺的精度和稳定性，为微纳加工技术在惯性器件中的应用提供了理论支持。 ","role":"assistant文档为pdf格式，0.65MB，总共4页。
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