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Synthesis and magnetic properties of Cr doped ZnO films via radio frequency plasma deposition - 第十三届全国固体薄膜学术会议.pdf

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2025-12-14 14:56 | 查看全部阅读模式

本文介绍了通过射频等离子体沉积法制备铬掺杂氧化锌薄膜的合成方法及其磁性性能。研究探讨了不同铬掺杂浓度对薄膜结构和磁性的影响，结果表明，适量的Cr掺杂可改善ZnO薄膜的磁性特性，为新型磁性半导体材料的开发提供了理论依据和实验支持。

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Synthesis and magnetic properties of Cr doped ZnO films via radio frequency plasma deposition - 第十三届全国固体薄膜学术会议

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