Ta-C沉积过程中热钉微区温度、应力与结构关系研究 - 2012全国荷电粒子源、粒子束学术会议.pdf

该论文研究了Ta-C沉积过程中热钉微区的温度、应力与结构之间的关系，旨在揭示沉积条件对材料性能的影响。通过实验分析，作者探讨了不同温度下应力变化对薄膜结构形成的作用机制，为优化Ta-C薄膜制备工艺提供了理论依据。

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2025-12-14 14:55 上传 Ta-C沉积过程中热钉微区温度、应力与结构关系研究 - 2012全国荷电粒子源、粒子束学术会议.pdf

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