AlSb_InAsxSb1-x高电子迁移率晶体管外延材料生长 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议.pdf

本文介绍了AlSb_InAsxSb1-x高电子迁移率晶体管外延材料的生长研究，针对半导体器件性能提升的需求，探讨了该材料在微波器件和光电器件中的应用前景。通过优化生长条件，实现了高质量外延层的制备，为高性能晶体管的开发提供了基础支持。

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2025-12-14 14:32 上传 AlSb_InAsxSb1-x高电子迁移率晶体管外延材料生长 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议.pdf

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