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(ZrTANbTiW)N薄膜组织结构与机械性能研究 - 第四届高能束加工技术国际学术会议.pdf

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2025-12-14 14:24 | 查看全部阅读模式

论文《(ZrTANbTiW)N薄膜组织结构与机械性能研究》探讨了多元素氮化物薄膜的微观结构及其力学性能。通过高能束加工技术制备样品，分析其晶体结构、硬度和耐磨性。研究结果表明，该薄膜具有优异的综合性能，为高性能涂层材料的应用提供了理论依据和技术支持。

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(ZrTANbTiW)N薄膜组织结构与机械性能研究 - 第四届高能束加工技术国际学术会议

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学术会议, 机械性能, 薄膜, 加工, 国际

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