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薄膜转移工艺制备的128128规模高架桥式电阻阵 - 第三届红外成像系统仿真测试与评价技术研讨会.pdf

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2025-12-14 09:13 | 查看全部阅读模式

本文介绍了采用薄膜转移工艺制备的128×128规模高架桥式电阻阵。该电阻阵具有高集成度和优异的热性能，适用于红外成像系统。通过优化工艺参数，实现了结构稳定性和电气性能的提升。研究为高性能红外探测器的开发提供了关键技术支撑。

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薄膜转移工艺制备的128128规模高架桥式电阻阵 - 第三届红外成像系统仿真测试与评价技术研讨会

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