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电弧离子镀与磁控溅射工艺复合制备TiAlN薄膜的高温抗氧化试验研究 - 第12届21省(市、自治区)4市铸造学会会议.pdf

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2025-12-14 10:42 | 查看全部阅读模式

本文介绍了通过电弧离子镀与磁控溅射工艺复合制备TiAlN薄膜，并对其高温抗氧化性能进行了试验研究。研究旨在探索该复合工艺在高温环境下对薄膜抗氧化能力的影响，为提高材料在极端条件下的使用寿命提供理论依据和技术支持。

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电弧离子镀与磁控溅射工艺复合制备TiAlN薄膜的高温抗氧化试验研究 - 第12届21省(市、自治区)4市铸造学会会议

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