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论文《硅基MEMS惯性器件系统集成技术》探讨了硅基微机电系统在惯性器件中的应用与集成方法。文章分析了MEMS惯性器件的结构设计、制造工艺及系统集成关键技术，强调了其在提高性能、降低成本方面的优势。通过结合先进半导体技术，提升了器件的精度与可靠性，为未来导航、控制等领域的应用提供了技术支持。 文档为pdf格式，0.09MB，总共2页。
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- 硅基MEMS惯性器件系统集成技术 - 2011’全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会.pdf ...
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