本文研究了氧离子能量对离子束辅助沉积Al2O3薄膜结构及光学性能的影响。通过调节氧离子能量，发现薄膜的结晶度、密度和表面形貌发生显著变化。同时，光学性能如折射率和透光率也受到影响。实验结果表明，适当提高氧离子能量有助于获得更致密和均匀的Al2O3薄膜，从而改善其光学性能。
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