高压RF-PECVD沉积非晶硅锗薄膜太阳能电池 - 中国可再生能源学会2011年学术年会.pdf

该论文介绍了通过高压RF-PECVD技术沉积非晶硅锗薄膜用于太阳能电池的研究。文章探讨了工艺参数对薄膜性能的影响，分析了材料结构与光电特性之间的关系。研究结果表明，非晶硅锗薄膜在光伏应用中具有良好的潜力，为高效低成本太阳能电池的开发提供了新思路。

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2025-12-14 10:23 上传 高压RF-PECVD沉积非晶硅锗薄膜太阳能电池 - 中国可再生能源学会2011年学术年会.pdf

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