微电子器件工业生产中的静电防护研究 - 第二届电磁环境效应与防护技术学术研讨会.pdf

论文《微电子器件工业生产中的静电防护研究》探讨了在微电子器件制造过程中静电放电对产品的影响及防护措施。文章分析了静电产生的机理，提出了有效的防护技术和管理方法，以提高产品质量和生产安全性。该研究为提升微电子工业的静电防护水平提供了理论依据和技术支持，具有重要的实践意义。

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2025-12-14 05:34 上传 微电子器件工业生产中的静电防护研究 - 第二届电磁环境效应与防护技术学术研讨会.pdf

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