论文《外延片在线弯曲测量仪的研制》介绍了用于实时监测外延片弯曲度的仪器。该测量仪采用高精度传感器和图像处理技术，实现对半导体材料弯曲度的快速、准确检测。研究解决了传统方法效率低、精度差的问题，提高了生产过程中的质量控制水平。该成果在光电子与量子电子学领域具有重要应用价值。
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