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论文《基于MEMS加工工艺的亚毫米波肖特基单端混频器》介绍了利用MEMS技术制作亚毫米波频率范围内的肖特基二极管混频器。该研究通过优化MEMS工艺，提高了器件性能和稳定性，适用于高频率、高精度的通信与探测系统。文章详细阐述了设计原理、制造流程及测试结果，为亚毫米波领域的器件发展提供了新思路。 ","role":"assistant文档为pdf格式，0.47MB，总共4页。
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- 基于MEMS加工工艺的亚毫米波肖特基单端混频器 - 第八届全国毫米波亚毫米波学术会议.pdf ...
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