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本文介绍了全金属气体微流量计中波纹管变容室截面面积的测量方法。针对微流量计在真空环境下的应用需求，研究通过精确测量波纹管变容室的截面面积，提高流量计的测量精度。文章结合实验与理论分析，探讨了测量过程中的关键技术与误差来源，为提升气体微流量计的性能提供了参考依据。 ","role":"assistant文档为pdf格式，0.31MB，总共9页。
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- 全金属气体微流量计波纹管变容室截面面积的测量 - 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计 ...
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