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一种集成SOI CMOS的高性能SiGe HBT制作 - 第十七届全国半导体集成电路、硅材料学术会议.pdf

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2025-12-14 01:06 | 查看全部阅读模式

论文《一种集成SOI CMOS的高性能SiGe HBT制作》介绍了将SiGe HBT与SOI CMOS技术结合的创新方法。通过优化工艺流程，实现了高性能双极型晶体管与CMOS器件的集成，提升了电路速度与能效。该研究为混合信号集成电路提供了新的解决方案，具有重要的应用价值。

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一种集成SOI CMOS的高性能SiGe HBT制作 - 第十七届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

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